진공배관
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[반도체] 진공관과 구조관 차이점 쉽게 이해하기 (Semiconductor Vacuum Pipe or tube Installation) 가상누설 Virtual Leakage !!!
A virtual leak is a trapped volume of gas connected to the vacuum side of a chamber that can not be pumped out easily due to the restriction in the path connecting the trapped gas volume to the chamber volume. As the chamber pump down cycle crosses over from viscous to molecular flow, the gas molecules within the trapped volume can only be pumped out at a rate proportional to the conductance of the path between the trapped volume and the chamber volume. This rate is the “virtual leak”.
A virtual leak will not be detected in a normal helium leak testing cycle. The presence of a virtual leak will become apparent during the system pump down cycle if the vacuum pumps cannot keep up with the gas load from the virtual leak and ultimate pressures cannot be reached or take an excessive time to reach.
Virtual leaks are easily avoided if good vacuum practice is followed in the design and fabrication of your chamber. Future articles will discuss these practices.
The engineering and manufacturing team at Meyer Tool has the experience to avoid the design and fabrication errors that can result in a virtual leak. Let us apply our Reduce Project Risk Process to your application so you too can experience receipt of ‘plug-and-play’ vacuum chambers or components. Established in 1969, Meyer Tool has over 50 years of experience manufacturing custom and OEM vacuum vessels and components. Our experience spans a wide range of materials, processes, and project sizes. Whether you’re building a single prototype or need production manufacturing support for your unique vacuum application, Meyer Tool’s engineering and manufacturing team approaches each challenge using our Reduce Project Risk Process to support your needs.
반도체 공정에서 왜 진공이 중요한가요?
반도체 공정에서 특히 진공의 개념이 강조되고 있습니다.
그 이유는 바로 Particle 방지를 위한 기초 개념이기 때문입니다.
내가 원하는 Source만을 증착시키고 깍아나가고 싶은 공정에서 다른 기체가 혼합이 된다면, 미세한 반도체를 만들기는 커녕 비싼 Wafer를 그대로 폐기해 버려야 할 지 모릅니다.
그렇기에 무엇보다도 진공이 중요합니다. 정리하자면,
1) 진공챔버에서 증착되는 박막의 오염방지를 위해 중요하다.
2) 진공상태에서는 공기와 부딪히지 않아 Source 표면에서 튀어나온 방향대로 직선운동을 할 수 있다.
즉, 원하는 곳에 균일하게 박막을 형성할 수 있다.
기체의 누설(Leak)이란?
챔버 외부에서 내부로 기체(공기)가 유입되는 것으로 크게 실제누설(Real Leak)과 가상누설(Virtual Leak)으로 나뉩니다.
1) 실제누설 : 실제로 기체가 외부에서로부터 들어오는 누설.
2) 가상누설 : 가두어 둔 기체를 천천히 방출함에 따른 진공 누설.
기체 누설(Leak)의 원인은?
반도체 공정에서 Leak Point는 무척 다양합니다. 체결 불량으로 인한 Leak, 용접 불량에 의한 Leak, 노후화로 인한 Leak 등등... 이중 대표적인 6가지 Leak Point는 다음과 같습니다.
1) 챔버벽을 관통하는 홀(Hole) 또는 크랙(Crack) 발생
2) 용접부의 결함
3) 배관 연결부(Flange)의 조임에 틈 발생
4) Gasket 또는 O-ring의 노후
5) 밸브가 완전히 폐쇄되지 않은 경우
6) Outgassing: 가상누설의 한 형태로, 챔버 내부벽과 챔버 안의 장비에 기체분자나 수분이 흡착되어 있다가 진공상태로 가면 방출되는 현상을 말합니다.
Ex) 이중 밀폐부(Doube O-ring), 장비 조립 시 사용된 볼트, 너트 등의 틈새에서 발생한 누설.
5) 밸브가 완전히 폐쇄되지 않은 경우
6) Outgassing: 가상누설의 한 형태로, 챔버 내부벽과 챔버 안의 장비에 기체분자나 수분이 흡착되어 있다가 진공상태로 가면 방출되는 현상을 말합니다.
Ex) 이중 밀폐부(Doube O-ring), 장비 조립 시 사용된 볼트, 너트 등의 틈새에서 발생한 누설.
@dndodhdj1582 : 항상 좋은 영상 만들어주셔서 감사합니다.
많이 배웁니다.
@user-jz4yo5yq7p : 관련분야를 알아야하는데 ㅠㅠ공부하기 너무좋아요 ㅠㅠ좋은자료 너무 감사합니다
@user-qy7qc5ex6s : 좋은 영상 감사합니다!
@ojh0319 : 감사합니다
@KKA12 : 감솨합니다
[핫클립] 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스
반도체 공정에서 나오는 유해가스가 진공펌프나 배관을 막는다.
그래서 막힌 배관 때문에 공정이 멈추는 경우도 잦고,
청소를 위해 배관을 열 때 화재가 생기는 일도 있었다고 한다.
그러나 송영훈 박사의 플라스마 기술로 더 이상 배관이 막히지 않는다.
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※ Full 영상 ▶
※ YTN사이언스 구독하기 ▶ https://bit.ly/3raTL0t
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#플라스마 #반도체공정 #유해가스 #배관 #YTN사이언스
배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스
[YTN 사이언스 기사원문] https://science.ytn.co.kr/hotclip/view.php?s_mcd=1394\u0026key=202205161637291753
[프로그램 제작 문의] legbiz@ytn.co.kr
@rakuson5334 : 이것과 비슷한 RPC 모듈. Remote Plasma Cln.
Etch Gas 의 Radical 생성하여 배관 내 By product 제거함.
이미 현업에서 사용 중.
배관이 언제 막힐지는 이미 센서들을 통해 알 수 있음 APC angle 과도하게 올라간다던지 CH Press trend 가 이상해진다던지 다 알 수 있음. 이게 왜 신기술 처럼 나오는 건지는 궁금함.
@user-sh8gj6yv8q : 존경해요. 감사해요.
️
@user-os5id4mv2r : 이거 뉴파워프라즈마 기술아닌가? 다른건가?
@user-bw8qu2ot2k : 방송사나.
국회나.
변함 없는.
앵무새.
@ssammais : 고러쿤
진공 Vacuum 에 대해서 공부해봐요. 반도체, LED, 디스플레이, 기초지식, 대기압, 토리첼리 실험
안녕하세요.
진공, Vacuum 에 대해서 공부해봐요.
진공은 반도체, 디스플레이, LED 등에서 꼭 알아야 할 기초 지식입니다.
쉽게 공부해봐요.
#반도체#진공#토리첼리#상압#Vacuum#대기압
@fleecykim : 아주 쉽게 설명을 잘 해주시니 감사합니다
@Limsoodal2 : 안녕하세요 진공포장기의 진공압력을 테스트기로 확인하고 싶은데
이럴 경우에는 어떤 기계를 사용해야하는지 알 수 있을까요??
대부분 제품들이 -600mmhg라고 하는데 측정할 방법이 없어서요... ㅠㅠ
@lightspot4829 : 감사합니다 많은 도움되었습니다’
@user-rg6yy6dd9e : 잘봤습니다
@user-vd2wl1tu3d : 비우는데 외부 공기 들어 오면 진공 어렵죠
진공 흡입 온도 너무 낮거나 너무 높아도 진공 어렵다
진공 온도 영상 이상 10~30 사이 진공 최상 가깝
A virtual leak is a trapped volume of gas connected to the vacuum side of a chamber that can not be pumped out easily due to the restriction in the path connecting the trapped gas volume to the chamber volume. As the chamber pump down cycle crosses over from viscous to molecular flow, the gas molecules within the trapped volume can only be pumped out at a rate proportional to the conductance of the path between the trapped volume and the chamber volume. This rate is the “virtual leak”.
A virtual leak will not be detected in a normal helium leak testing cycle. The presence of a virtual leak will become apparent during the system pump down cycle if the vacuum pumps cannot keep up with the gas load from the virtual leak and ultimate pressures cannot be reached or take an excessive time to reach.
Virtual leaks are easily avoided if good vacuum practice is followed in the design and fabrication of your chamber. Future articles will discuss these practices.
The engineering and manufacturing team at Meyer Tool has the experience to avoid the design and fabrication errors that can result in a virtual leak. Let us apply our Reduce Project Risk Process to your application so you too can experience receipt of ‘plug-and-play’ vacuum chambers or components. Established in 1969, Meyer Tool has over 50 years of experience manufacturing custom and OEM vacuum vessels and components. Our experience spans a wide range of materials, processes, and project sizes. Whether you’re building a single prototype or need production manufacturing support for your unique vacuum application, Meyer Tool’s engineering and manufacturing team approaches each challenge using our Reduce Project Risk Process to support your needs.
반도체 공정에서 왜 진공이 중요한가요?
반도체 공정에서 특히 진공의 개념이 강조되고 있습니다.
그 이유는 바로 Particle 방지를 위한 기초 개념이기 때문입니다.
내가 원하는 Source만을 증착시키고 깍아나가고 싶은 공정에서 다른 기체가 혼합이 된다면, 미세한 반도체를 만들기는 커녕 비싼 Wafer를 그대로 폐기해 버려야 할 지 모릅니다.
그렇기에 무엇보다도 진공이 중요합니다. 정리하자면,
1) 진공챔버에서 증착되는 박막의 오염방지를 위해 중요하다.
2) 진공상태에서는 공기와 부딪히지 않아 Source 표면에서 튀어나온 방향대로 직선운동을 할 수 있다.
즉, 원하는 곳에 균일하게 박막을 형성할 수 있다.
기체의 누설(Leak)이란?
챔버 외부에서 내부로 기체(공기)가 유입되는 것으로 크게 실제누설(Real Leak)과 가상누설(Virtual Leak)으로 나뉩니다.
1) 실제누설 : 실제로 기체가 외부에서로부터 들어오는 누설.
2) 가상누설 : 가두어 둔 기체를 천천히 방출함에 따른 진공 누설.
기체 누설(Leak)의 원인은?
반도체 공정에서 Leak Point는 무척 다양합니다. 체결 불량으로 인한 Leak, 용접 불량에 의한 Leak, 노후화로 인한 Leak 등등... 이중 대표적인 6가지 Leak Point는 다음과 같습니다.
1) 챔버벽을 관통하는 홀(Hole) 또는 크랙(Crack) 발생
2) 용접부의 결함
3) 배관 연결부(Flange)의 조임에 틈 발생
4) Gasket 또는 O-ring의 노후
5) 밸브가 완전히 폐쇄되지 않은 경우
6) Outgassing: 가상누설의 한 형태로, 챔버 내부벽과 챔버 안의 장비에 기체분자나 수분이 흡착되어 있다가 진공상태로 가면 방출되는 현상을 말합니다.
Ex) 이중 밀폐부(Doube O-ring), 장비 조립 시 사용된 볼트, 너트 등의 틈새에서 발생한 누설.
5) 밸브가 완전히 폐쇄되지 않은 경우
6) Outgassing: 가상누설의 한 형태로, 챔버 내부벽과 챔버 안의 장비에 기체분자나 수분이 흡착되어 있다가 진공상태로 가면 방출되는 현상을 말합니다.
Ex) 이중 밀폐부(Doube O-ring), 장비 조립 시 사용된 볼트, 너트 등의 틈새에서 발생한 누설.
@dndodhdj1582 : 항상 좋은 영상 만들어주셔서 감사합니다.
많이 배웁니다.
@user-jz4yo5yq7p : 관련분야를 알아야하는데 ㅠㅠ공부하기 너무좋아요 ㅠㅠ좋은자료 너무 감사합니다
@user-qy7qc5ex6s : 좋은 영상 감사합니다!
@ojh0319 : 감사합니다
@KKA12 : 감솨합니다
[핫클립] 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스
반도체 공정에서 나오는 유해가스가 진공펌프나 배관을 막는다.
그래서 막힌 배관 때문에 공정이 멈추는 경우도 잦고,
청소를 위해 배관을 열 때 화재가 생기는 일도 있었다고 한다.
그러나 송영훈 박사의 플라스마 기술로 더 이상 배관이 막히지 않는다.
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#플라스마 #반도체공정 #유해가스 #배관 #YTN사이언스
배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스
[YTN 사이언스 기사원문] https://science.ytn.co.kr/hotclip/view.php?s_mcd=1394\u0026key=202205161637291753
[프로그램 제작 문의] legbiz@ytn.co.kr
@rakuson5334 : 이것과 비슷한 RPC 모듈. Remote Plasma Cln.
Etch Gas 의 Radical 생성하여 배관 내 By product 제거함.
이미 현업에서 사용 중.
배관이 언제 막힐지는 이미 센서들을 통해 알 수 있음 APC angle 과도하게 올라간다던지 CH Press trend 가 이상해진다던지 다 알 수 있음. 이게 왜 신기술 처럼 나오는 건지는 궁금함.
@user-sh8gj6yv8q : 존경해요. 감사해요.
️
@user-os5id4mv2r : 이거 뉴파워프라즈마 기술아닌가? 다른건가?
@user-bw8qu2ot2k : 방송사나.
국회나.
변함 없는.
앵무새.
@ssammais : 고러쿤
진공 Vacuum 에 대해서 공부해봐요. 반도체, LED, 디스플레이, 기초지식, 대기압, 토리첼리 실험
안녕하세요.
진공, Vacuum 에 대해서 공부해봐요.
진공은 반도체, 디스플레이, LED 등에서 꼭 알아야 할 기초 지식입니다.
쉽게 공부해봐요.
#반도체#진공#토리첼리#상압#Vacuum#대기압
@fleecykim : 아주 쉽게 설명을 잘 해주시니 감사합니다
@Limsoodal2 : 안녕하세요 진공포장기의 진공압력을 테스트기로 확인하고 싶은데
이럴 경우에는 어떤 기계를 사용해야하는지 알 수 있을까요??
대부분 제품들이 -600mmhg라고 하는데 측정할 방법이 없어서요... ㅠㅠ
@lightspot4829 : 감사합니다 많은 도움되었습니다’
@user-rg6yy6dd9e : 잘봤습니다
@user-vd2wl1tu3d : 비우는데 외부 공기 들어 오면 진공 어렵죠
진공 흡입 온도 너무 낮거나 너무 높아도 진공 어렵다
진공 온도 영상 이상 10~30 사이 진공 최상 가깝
... 
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